项目信息

项目名称：磁控离子溅射镀膜仪

项目编号：XY_BX******

公告开始日期：******85000

公告截止日期：******00000

******服务中心）

付款方式：2.所有货物经甲乙双方验收合格并签署验******银行电汇方式付给乙方全额货款。

联系人：中标后在我参与的项目中查看

联系电话：中标后在我参与的项目中查看

签约时间要求：成交后3个工作日内

到货时间要求：合同签订后10个工作日内

预算：￥90000.00

******大学指定地点

供应商资质要求：符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

公告说明：

采购清单

采购商品：磁控溅射离子镀膜仪

采购数量：1

计量单位：台

所属分类：

品牌：上海众濒

型号：CIS400TF

预算：￥90000.00

技术参数及配置要求：1．溅射靶头采用平面磁控靶设计；
2．系统采用单片机等微处理器控制，全数字显示；
3．真空室采用高透光率的硼硅玻璃，内径200mm，高度130mm；
4．最大工作电流200mA，最小5mA，步进量为1mA;
5．系统可实时显示分子泵转速、电压、电流、轴承温度等工作参数；
6．采用涡轮分子泵和旋片真空泵组合的真空泵组作为抽气单元，其中涡轮分子泵的抽速90L/s；
7．系统工作节拍可以在10分钟内优于5E-3Pa；
8．最长溅射时间999秒；
9．具备可旋转样品台，转速可调，最高转速20转/分；
10．内置20种靶材溅射参数，包括金、铂、铬、钨、钛、铝、镍等，可一键调用；
11．具备电流保护和真空保护功能，在电流过大、真空度较差时保证设备安全；
12．可实时显示靶材使用时间和设备工作时间；
13．可用实时曲线显示溅射电流和真空度；
14．系统采用ARM或单片机等微处理器控制，全数字显示，中文操作界面；彩色液晶屏显示，触摸屏操作，屏幕尺寸7英寸。
15．配置金靶、银靶各一块。

售后服务：售后服务要求:符合国家三包要求规定 免费质保一年 培训加安装;